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真空烧结炉怎么操作
发布时间:2022-04-04   浏览:2903次

  真空烧结炉怎么操作

  真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子,其加热方式比较多,如电阻加热、感应加热、微波加热等。关于它的操作很多用户都有些疑问,那么,烧结炉怎么操作的呢?

  1、通电前检查

  真空烧结炉通电前,检查各开关是否放在(关)位,升温方式为“手动”,功率调节逆时针旋到头(低)。确认无误后再根据工艺要求的顺序来启动机械泵、扩散泵。

真空烧结炉

  2、测量炉内真空度

  根据真空计的操作进行,当达到要求的真空度时,才能加热升温。

  3、抽真空

  紧闭所有的真空阀门,启动机械泵,待其运转正常后,打开通向炉体的低真空阀,预先对炉体抽气,此阀打开时应缓慢,以免机械泵排气口处有油喷出。

  4、打开真空阀

  真空烧结炉炉体抽真空的同时,打开真空阀,对扩散泵抽气,当真空度达到15Pa后,先开启扩散泵上的冷却水,然后对扩散泵加热,一般经过45分钟左右扩散泵起作用,就可关上通向炉体的真空阀,打开真空阀,真空度很快可以达到1.33×10-1Pa以上,即可对电炉通电加热。

  5、加热

  次加热因放气较多,真空度容易下跌,另外工件加热放气也使真空下跌,所以要慢慢升温真空度下跌到1.5帕停止加热,等真空度回升到0.5帕以上再慢慢加热。因扩散泵低于20帕就无法工作,另外扩散泵油在太低真空下易氧化,导致扩散泵无法作用。也可在低真空下加热除气,等放气基本结束,再开高真空。另外电炉在不用时抽真空状态下保存,下次抽气快些。欲停止抽真空,应先关闭高真空阀,然后停止加热,1个半小时后,关闭低真空阀,停止机械泵运转,只有在扩散泵冷却之后,才切断其冷却水供应。

  6、手动升温

  在炉温200℃以下先用手动方式升温,否则控温不准。在真空状态下按加热启动按钮,缓慢调节手动功率(顺时针方向),使电流慢慢上升,禁止超过次额定电流1100A,电炉温度随之上升。1000-2000℃,可采用红外自动控制炉温。

  7、降温

  降温可按预先设定的程序控制降温,也可直接把加热关闭让其自行降温。但降温过程中不允许停水,否则真空烧结炉炉体密封圈会烧坏。

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